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QL

气路系统

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QL 气路系统
QL Gas Circuit System
 气路盘是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案,该产品通过对气路原理图的设计、加工和测试,以隔膜阀、调压阀、压力传感器、过滤器、MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节、纯度过滤、流量控制等功能。
设备特点
  • 具有IC级复杂气路盘的设计能力
  • 可以按照客户的需求进行气路盘的设计更改和定制化服务
  • 具有多年研发和生产MFC的经验,可嫁接到气路盘的设计和生产中
  • 具有高性价比优势
产品应用
  • 真空能力
    0.2Pa~1x10⁻⁶Pa
  • 漏率(VCR密封)
    小于1x10⁻⁹Pa˙m³/s
  • 管路内表面光洁度
    小于0.2Ra
  • 管路内表面处理
    EP处理
  • IGS尺寸
    1.125英寸
  • 接口类型
    全金属密封
  • 密封形式
    IGS-C型或VCR,卡套
  • 颗粒度
    连续3次测试中,0.1um以下的颗粒数≤3个
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