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半导体装备 Semiconductor

CS200

数字式质量流量计/质量流量控制器

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CS200 数字式质量流量计/质量流量控制器
CS200 Digital Mass Flow Meter/ Mass Flow Controller
CS200气体质量流量控制器精度可以达到设定值1%以内,并可适应不同的环境温度。
设备特点
  • 恒功率传感器抑制零漂,保证了传感器线性
  • 与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV
  • 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电、数字,模拟输入输出
  • 产品支持RS485,DeviceNet,EtherCAT等主流通讯方式
产品应用
  • 流量规格(N₂)
    10SCCM~50SLM
  • 准确度
    ±1.0% S.P. (>35% F.S.)  ±0.35% F.S. (≤35% F.S.)
  • 重复精度
    ±0.2% F.S.
  • 响应时间
    ≤ 0.8 sec
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