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半导体装备 Semiconductor

CS100

数字式质量流量计/质量流量控制器

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CS100 数字式质量流量计/质量流量控制器
CS100 Digital Mass Flow Meter/ Mass Flow Controller
CS100产品是基于七星流量计CS系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,VCP线控制技术的基础上,采用客户零点补偿功能(CGC),更好的适应客户环境。
设备特点
  • 模拟式产品或数字式产品
  • ±15V双电源或+24V单电源供电
  • 金属密封或橡胶密封
  • SEMI标准尺寸产品或紧缩型产品
产品应用
  • 流量规格(N₂)
    10SCCM~50SLM
  • 准确度
    ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.)
  • 重复精度
    ±0.2% F.S.
  • 响应时间
    ≤ 1 sec
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