半导体装备 Semiconductor

Hesper E230A

12英寸单片常压硅外延系统

联系咨询
Hesper E230A 12英寸单片常压硅外延系统
Hesper E230A 12 Inch Single Wafer Atmospheric Pressure Silicon Epitaxy System
Hesper E230A适用于12英寸N/P硅外延生长,产品自主研发了多路多区进气导流结构、多区红外加热温控系统,具备高洁净腔室控制技术、膜厚均匀性控制技术、电阻率均匀性控制技术,产品各项指标均达到先进水平。
设备特点
  • 专业的气流场和加热场设计提供优良的工艺性能
  • 高效传输设计可提高产能
  • 单、双、四腔兼容设计,可满足不同客户需求
产品应用
  • 晶圆尺寸
    12英寸
  • 沉积材料
  • 适用工艺
    N&P常压硅外延
  • 适用领域
    功率半导体、衬底材料、科研领域
分享我们:
微信扫一扫
联系我们
官方公众号
XML 地图