半导体装备 Semiconductor

ELEDE® 380F

PSS刻蚀机

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ELEDE® 380F PSS刻蚀机
ELEDE® 380F PSS Etcher
ELEDE® 380F刻蚀机是应用于LED衬底刻蚀工艺的等离子体干法刻蚀机,配置单/双反应腔、托盘式、多片Tray in Tray out全自动作业。设备适用于Mini LED、Micro LED多种衬底刻蚀,覆盖PSS、NPSS、CPSS刻蚀工艺。
设备特点
  • 先进的平面等离子体发生装置,高选择比,更大的工艺窗口
  • 良好的侧壁形貌及均匀性控制
  • 9 片4 英寸托盘,工艺时间短,大产能
  • 专业的工艺套件设计,更长的耗材寿命,更低的CoO
产品应用
  • 晶圆尺寸
    2、4、6 英寸及特殊尺寸
  • 适用材料
    蓝宝石,氧化硅等
  • 适用工艺
    纳米级/图形化PSS刻蚀、复合衬底刻蚀
  • 适用领域
    半导体照明、Mini LED
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