半导体装备 Semiconductor

Booster SWA

单片退火系统

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Booster SWA 单片退火系统
Booster SWA Single Wafer Anneal System
Booster SWA主要用于12英寸后段金属互联退火工艺。该机台为多腔集群设备,能够进行全自动并行工艺处理。系统主要由传输模块和3个工艺模块组成,其中工艺模块主要用于Post Etch和Post Cu CMP退火工艺,通过去除Low-K材料吸附的水汽以恢复K值,传输模块用于将晶圆安全而准确地送达到指定工位。
设备特点
  • 专业的双模式、双腔式加热系统设计
  • 温度均匀性和设备产能高
  • 高速Load-lock,大产能,低运营成本
产品应用
  • 晶圆尺寸
    12英寸
  • 适用工艺
    Sub 40nm BEOL 单片退火
  • 适用领域
    集成电路
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